Die Verwendung von Polierpad
2022/05/19
1. Die Polierflüssigkeit wird effektiv und gleichmäßig zu verschiedenen Bereichen des
Polierpads
transportiert .
2. Nach dem Polieren ist die chemische Reaktion vollständig durchgeführt und die Reaktanten und Ablagerungen werden reibungslos abgeführt und der Entfernungseffekt wird erzielt.
3. Aufrechterhaltung des polierten Flüssigkeitsfilms auf der Oberfläche des Polierpads, damit die chemische Reaktion vollständig durchgeführt wird.
4. Halten Sie den Polierprozess glatt, die Oberfläche wird nicht verformt, um eine bessere Topographie der Waferoberfläche zu erhalten.